數(shù)控機(jī)床的加工中，由于外力、加工中產(chǎn)生的熱量等外部因素的影響，機(jī)床的幾何精度受到影響，在機(jī)床上加工的零件的幾何變形會導(dǎo)致幾何誤差。引起cnc加工機(jī)床幾何誤差的內(nèi)部因素是指由機(jī)床自身因素引起的幾何誤差，如機(jī)床工作臺的水平度、機(jī)床導(dǎo)軌的水平度和直線度、機(jī)床工具和夾具的幾何精度等。外部因素主要指高精度cnc加工過程中受外部環(huán)境和熱變形影響而產(chǎn)生的幾何誤差。
高精度cnc加工位置誤差對加工精度的影響。位置誤差是指被cnc加工零件的實際表面、軸線或?qū)ΨQ面相對于其理想位置的相互位置的變化或偏離程度，如垂直度、位置度、對稱度等。cnc加工產(chǎn)生位置誤差的主要原因是機(jī)床零件加工過程中傳動產(chǎn)生的間隙和彈性變形引起的加工誤差，以及cnc加工過程中工具頭需要克服的摩擦力等因素引起的位置誤差。

從高精度cnc加工的長期數(shù)據(jù)分析和實際操作中可以看出cnc加工機(jī)床定位引起的加工精度誤差。機(jī)床的定位對數(shù)控機(jī)床的cnc加工精度有很大影響。從結(jié)構(gòu)上看，數(shù)控機(jī)床的cnc加工誤差主要是由定位精度引起的，機(jī)床進(jìn)給系統(tǒng)是影響定位精度的主要環(huán)節(jié)。